| 产品特性：高低温真空 | 是否进口：否 | 产地：山东济南 |
| 加工定制：是 | 品牌：创谱仪器 | 型号：CPPS-ZK |
| 规格：全新原装 |
主要技术指标/特点：
★整体 304 不锈钢材质，4 英寸石英窗口；
★控温范围：-142-600℃ (如果高温 300°以上需要另配水冷系统) ，控温精准可达到±1℃， 显示精度 1℃ ，温度均匀性±3℃；
★极限真空度优于 5Pa；
★基座气浮平台，平面度＜0.1mm/㎡ ，振幅小于 1.2um；
★探针位移重复定位精度 2 微米，分辨率 3 微米，单轴直线度±2 微米；
★三同轴探针夹具，漏电精度 100fA，陶瓷结构；
★4 英寸紫铜材质样品台，平面度 5 微米；
★500W 像素 CCD 显微镜，分辨率 2 微米，可以连接电脑；
★整体高集成，高稳定性，高漏电精度，高性价比！
高低温真空探针台标准详细配置清单 | ||
设备名称 | 详细配置清单 | 数量 |
真空腔体 CPPS-ZK-401 | ?直径 8 英寸，高度 7 英寸的304 材质真空室 ?上盖带 4 英寸石英观察窗 ?下法兰带固定端，与光学平台连接 ?直径为 4 英寸的紫铜材质样品台，平整度 5 微米 ?1 个 KF40 抽真空排气口，3 个 CF16 充气口，1 个 KF16 电阻规接口，1 个 KF16 放气口，1 个 KF40 预留接口，1 个 DN63 BNC 真空贯穿接口，2 个冷却液接口，4 个探针座接口,2 个电源接口 |
1 套 |
探针调整座 CPPS-ZK-402 | ?位移方向 XYZ 三轴,采用交叉滚柱导轨,产品定向性能稳定 ?采用精密研磨丝杆 M3*0.5 分辨***，配合做大手轮 ?行程：X 轴 40mm ，Y 轴 40mm ，Z 轴 40mm ?分辨率 3 微米，重复定位精度±2 微米，单轴直线度±2 微米 ?自重 1.5Kg ，负载 5.5Kg ?三同轴探针夹具 漏电精度 100fA ，接三同轴公接口，陶瓷结构 ?探针臂，采用304 不锈钢光轴，***水平的准直度和刚性 ?探针臂移动真空密封装置，配置可压缩 50mm 的焊接波纹管，***寿命可靠运行 100 万次 |
4 套 |
气浮平台 CPPS-ZK-403 | ?创谱光学隔振平台专门设计的水平减震机构，隔振基础采用二层气囊隔离，空气隔离器利用空气 阻尼技术在各个方向上都提供了优异的减振性能，减振器自身的自然振动频率非常低，防止由瞬变 干扰产生的摇摆 ?稳定轻松调节，稳定可靠结构十分紧凑 ?平面度＜0. 10mm/m 2 ?固有频率垂直 1.2Hz~1.8Hz,水平 1.2Hz~1.8Hz ?振幅＜1.2um ?重复定位精度±0.05mm |
1 套 |
显微控制系统 CPPS-ZK-404 | ?配 CCD 采用USB 连接电脑，分辨率 2um ，500 万像素 ?控温系统采用日本岛电温控仪表配置固态继电器、热电偶形成闭环 PID 控温和自整定调节，智能 化 30 段可编程控制，控温精准可达到±1℃ ，显示精度 1℃ ，温度均匀性±3℃ ?温度 600℃ ，***温度- 142℃ ?高温部件构成及低温部件构成 |
1 套 |
真空获得系统 CPPS-ZK-405 | ?抽真空机械泵采用中韩合资型号 TRP-36，9L/s 抽速，自带防返油阀门，KF25 接口，KF25 排气口， 配有油雾过滤器。极限真空度优于 5Pa ?配置 KF40 手动真空挡板阀，波纹管密封，性能 可靠，外观大气，手感好；放气阀配置 KF16 手 动放气阀，体积小巧，性能可靠；所有真空管道采用不锈钢液压波纹管，具备很好的柔韧度，消除 机械泵震动所带给探针台的影响。 ?真空测量配置国产成都睿宝电阻真空计，安装 1 个全金属 KF16 电阻规 |
1 套 |
配件 |
密封件 1 套，3 微米针尖钨钢探针 20 支，探针臂陶瓷件 2 个等 |
